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我国集成电路制造装备研发取得重大突破

songsong

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我国集成电路制造装备研发取得重大突破

新华网快讯：国家重大专项“１００纳米高密度等离子体刻蚀机和大角度离子注入机”２８日通过项目验收，标志着我国集成电路制造核心装备研发取得重大突破。

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